2019年电子工业VOCs废气排放标准及废气治理技术方案

随着电子工业的发展，政府对电子行业VOCs排放越来越重视。各地政府也出台了相关的排放标准，为电子工业VOC治理提供了保证。盛华环保小编汇总了相关的标准，以供参考。

国家层面：

2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 半导体器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为60mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子元件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子终端产品》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为70mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准平板显示器、电真空及光电子器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。

2015年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(征求意见稿)规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3，特别排放限值是80mg/m3，没有涉及TVOCs。

2018年环保部印发《电子工业污染物排放标准》(二次征求意见稿)规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。

地方层面：

北京市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2007)中规定半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3，新建企业为20mg/m3。

天津市《工业企业挥发性有机化合物排放控制标准》(DB12/524-2014)。规定电子工业VOCs最高允许排放浓度为80mg/m3。

上海市《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)。规定VOCs最高允许排放浓度为100mg/m3。

2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为30mg/m3。

2017年广东省《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为40mg/m3。

2018年江苏省《半导体行业污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m3。

2018年北京市《电子工业大气污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非甲烷总烃最高允许排放浓度为20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。

高温等离子焚烧技术:

高温等离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(10万伏)大功率电源在特定条件下的聚能放电。工业废气在反应器中由常温急剧上升至3千度高温，在高温、高电势的双重作用下，有机污染成分(VOCs)瞬间被电离并完全裂解。

经高温等离子焚烧处理，工业废气中有机物(VOCs)裂解成为碳、二氧化碳、水蒸气等单质物质。

废气处理工艺示意图：

高温等离子焚烧设备特点:

强大的功率和专业的设计使工业废气瞬间成为3千度的高温等离子体，有害物质清除率大于98%，符合国家指定排放标准。

不锈钢一体化结构， 耐腐蚀，安全可靠

智能化远程控制，无需专职人员值守。

我们最先提出“高温等离子RTO焚烧”这一概念(发明专利)，是掌握该技术并实际应用的企业。为工业废气治理开辟了一条全新的途径。

“高温等离子焚烧”技术比较“传统RTO(天然气焚烧方法)”有以下优势：

1、 连续不间断的处理废气，(天燃气RTO为间歇工作模式)这在垃圾焚烧尾气，凹版印刷有机废气处理应用方面尤为重要。

2、广谱性：能够处理高浓度、成分复杂、易燃易爆及含有大量水分、固态、油状物的工业废气，实现达标排放。

3、不消耗天然气，无碳排放问题。没有阀门等运动部件，能够无故障，不间断运行上万小时。

4、 风阻小，能耗低：处理2万立方米/小时的燃气RTO，为克服陶瓷蓄热体风阻就需要功耗为90千瓦的引风机。

而处理2万立方米/小时的高温等离子焚烧设备(25千瓦)，连同引风机(21千瓦)仅消耗46千瓦功率。

当VOCs类废气排放浓度低于200mg/m3，采用低功率密度高温等离子处理设备，每1万m3功耗仅为10kW。

无论从资金投入还是从营运成本考量，本方案要远胜于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

5、能效比高：节约能源，高温等离设备废气排放口温度，比废气进口温度仅提高几十度。

6、处理效果好：二恶英等难以处理的物质，瞬间完全分解，实现达标排放。(是垃圾焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

7、无臭氧排放问题(低温等离子设备存在臭氧排放问题)。

8、经济适用：同样规格的高温等离子设备，价格不到燃气焚烧RTO的二分之一，运营成本低于二分之一。

9、占地面积小，自动化程度高节约人力，运营成本低。

10、不会产生二次污染。无异味，对人口居住密集地区而言这是一个重要的考量指标。

11、天燃气焚烧法RTO造价高昂，大量消耗天燃气、氧气，增加二氧化碳、一氧化碳排放，有二次污染之虑，无法应对日渐严格的环境保护标准。天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷，在易燃易爆场所，或处理废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。天燃气输送储存过程可能存在因泄漏而引发的安全问题

高温等离子焚烧技术在工业废气处理方面的应用是一个划时代的技术变革。

高温等离子焚烧技术将逐步取代天燃气RTO，成为新兴产业。